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力物学院举行学术报告会
2019-10-21 16:42   审核人:   (点击: )

    10月18日下午,力物学院光电物理系高娟副教授在院报告厅为18级光电物理班和光电专业研究生作了题为《原子层沉积技术应用及发展趋势》的学术报告。2018级光电物理班全体学生和全体研究生100余人聆听了报告会。

报告会现场(摄影:陈昌兆)

    报告会上,高娟首先向大家介绍了原子层沉积技术的发展历史、基本工作原理和优点。接着详细介绍了原子层沉积技术在晶体管材料制备方面、储能器件方面及催化方面的应用。最后介绍了原子沉积技术的发展趋势和前景展望。原子层沉积技术,是一种基于有序、表面自饱和反应的化学气相薄膜沉积技术。原子层沉积技术起源于上世纪六七十年代,随着半导体工业的兴起,为适应各种制备需求的商品化ALD仪器的研制成功,无论在基础研究还是实际应用方面,尤其原子层沉积技术都受到人们越来越多的关注。

    此次学术报告开阔了同学们的知识和眼界,提高了同学们学习的兴趣,为今后的学习增加了动力。

(撰稿、核稿:力物学院 高娟、圣宗强)

 

 

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